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原理
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特長
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注意点
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直接燃焼法
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排気を700~900℃にて酸化分解処理する。 |
完全燃焼すれば高効率の処理が可能。
タール、粉塵への許容性が高い |
不燃性の溶剤には適応困難。
燃焼による2次公害の発生に注意が必要。 |
蓄熱式燃焼法
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蓄熱材にて95%以上熱回収を行い、排気を800~900℃にて酸化分解処理する。 |
熱回収率が極めて高く、ランニングコストが安い。
完全燃焼すれば高効率の処理が可能。 |
不燃性の溶剤には適応困難。
燃焼による2次公害の発生に注意が必要。
有機シリコン含有排気の処理は不向き。 |
触媒燃焼法
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白金等の触媒を用いて、排気を250~400℃にて酸化分解処理する。 |
直接燃焼法に比べて燃料費が低い。
電気熱源の使用が可能。 |
不燃性の溶剤には適応困難。
燃焼による2次公害の発生に注意が必要。
触媒毒、特に有機シリコンに対しては要注意。 |